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壓力傳感器的誤差補(bǔ)償簡要分析
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2015/8/5

  合理進(jìn)行壓力傳感器的誤差補(bǔ)償是其應(yīng)用的關(guān)鍵。壓力傳感器主要有偏移量誤差、靈敏度誤差、線性誤差和滯后誤差,本文將介紹這四種誤差產(chǎn)生的機(jī)理和對測試結(jié)果的影響,同時將介紹為提高測量精度的壓力標(biāo)定方法以及應(yīng)用實例。

  目前市場上傳感器種類豐富多樣,這使得設(shè)計工程師可以選擇系統(tǒng)所需的壓力傳感器。這些傳感器既包括最基本的變換器,也包括更為復(fù)雜的帶有片上電路的高集成度傳感器。由于存在這些差異,設(shè)計工程師必須盡可能夠補(bǔ)償壓力傳感器的測量誤差,這是保證傳感器滿足設(shè)計和應(yīng)用要求的重要步驟。在某些情況下,補(bǔ)償還能提高傳感器在應(yīng)用中的整體性能。

  偏移量、范圍標(biāo)定以及溫度補(bǔ)償均可以通過薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn),這種薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)在封裝過程中采用激光修正。

  該傳感器通常與微控制器結(jié)合使用,而微控制器的嵌入軟件本身建立了傳感器數(shù)學(xué)模型。微控制器讀取了輸出電壓后,通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器的變換,該模型可以將電壓量轉(zhuǎn)換為壓力測量值。

  傳感器最簡單的數(shù)學(xué)模型即為傳遞函數(shù)。該模型可在整個標(biāo)定過程中進(jìn)行優(yōu)化,并且模型的成熟度將隨標(biāo)定點的增加而增加。

  從計量學(xué)的角度看,測量誤差具有相當(dāng)嚴(yán)格的定義:它表征了測量壓力與實際壓力之間的差異。而通常無法直接得到實際壓力,但可以通過采用適當(dāng)?shù)膲毫?biāo)準(zhǔn)加以估計,計量人員通常采用那些精度比被測設(shè)備高出至少 10 倍的儀器作為測量標(biāo)準(zhǔn)。

  由于未經(jīng)標(biāo)定的系統(tǒng)只能使用典型的靈敏度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力,測得的壓力將產(chǎn)生如圖 1 所示的誤差。

  這種未經(jīng)標(biāo)定的初始誤差由以下幾個部分組成:

  a. 偏移量誤差。由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

  b. 靈敏度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。

  c. 線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。

  d. 滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

  標(biāo)定可消除或極大地減小這些誤差,而補(bǔ)償技術(shù)通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù),而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補(bǔ)償過程中采用,而軟件則能更靈活地實現(xiàn)這種誤差補(bǔ)償工作。

  一點標(biāo)定法可通過消除傳遞函數(shù)零點處的漂移來補(bǔ)償偏移量誤差,這類標(biāo)定方法稱為自動歸零。

  偏移量標(biāo)定通常在零壓力下進(jìn)行,特別是在差動傳感器中,因為在標(biāo)稱條件下差動壓力通常為 0 。對于純傳感器,偏移量標(biāo)定則要困難一些,因為它要么需要一個壓力讀取系統(tǒng),用以測量其在環(huán)境大氣壓力條件下的標(biāo)定壓力值,要么需要獲取期望壓力的壓力控制器。

  變動傳感器的零壓力標(biāo)定非常精確,因為標(biāo)定壓力嚴(yán)格為 0 。另一方面,壓力不為 0 時的標(biāo)定精確度取決于壓力控制器或測量系統(tǒng)的性能。

  選擇標(biāo)定壓力

  標(biāo)定壓力的選取非常重要,因其決定了獲取最佳精度的壓力范圍。實際上,經(jīng)過標(biāo)定后實際的偏移量誤差在標(biāo)定點處最小并一直保持較小的值。因此,標(biāo)定點必須根據(jù)目標(biāo)壓力范圍加以選擇,而壓力范圍可以不與工作范圍相一致。

  為了將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力值,由于實際的靈敏度往往是未知,因此在數(shù)學(xué)模型中通常采用典型靈敏度進(jìn)行單點標(biāo)定。

  紅色曲線表示進(jìn)行偏移量標(biāo)定( PCAL=0 )后的誤差曲線,可以發(fā)現(xiàn)誤差曲線相對于表示標(biāo)定前誤差的黑色曲線產(chǎn)生了垂直偏移。

  這種標(biāo)定方法與一點標(biāo)定法相比要求更為嚴(yán)格,實現(xiàn)成本也更高。然而與一點標(biāo)定法相比,該方法可顯著提高系統(tǒng)的精度,因為該方法不僅標(biāo)定了偏移量,還標(biāo)定了傳感器的靈敏度。因此在誤差計算中可以使用靈敏度實際值,而非典型值。

  綠色曲線表示精度提高。在這里,標(biāo)定是在 0 至 500 兆巴(滿標(biāo)度)條件下進(jìn)行。由于在標(biāo)定點上誤差接近于 0 ,因此為了在期望的壓力范圍內(nèi)得到最小的測量誤差,正確地設(shè)定這些點就顯得尤為重要。某些應(yīng)用中要求在整個壓力范圍內(nèi)保持較高的精確度。在這些應(yīng)用中,可以采用多點標(biāo)定法來得到最理想的結(jié)果。在多點標(biāo)定法中,不僅考慮了偏移量和靈敏度誤差,還考慮了大部分的線性誤差,紫紅色曲線所示。這兒用的數(shù)學(xué)模型與每個標(biāo)定間距(在兩個標(biāo)定點之間)的兩級標(biāo)定完全一樣。

  三點標(biāo)定

  如前所述,線性誤差具有一致的形式,且誤差曲線符合二次方程的曲線,具有可預(yù)測的大小和形狀。對于未采用放大器的傳感器更是如此,因為傳感器的非線性從本質(zhì)上是基于機(jī)械原因(這是由硅片的薄膜壓力引起)。

  線性誤差特性的描述可以通過計算典型實例的平均線性誤差,確定多項式函數(shù)( a × 2+bx+c )的參數(shù)而得到。確定了 a 、 b 和 c 后得到的模型對于相同類型的傳感器都是有效的。該方法能在無需第 3 個標(biāo)定點的情況下有效地補(bǔ)償線性誤差。

  該誤差補(bǔ)償方法只需兩點標(biāo)定即可將低成本傳感器改進(jìn)為高性能器件(誤差小于滿標(biāo)度的 0.05% )。

  當(dāng)然設(shè)計工程師要根據(jù)實際應(yīng)用的精確度要求,選擇最適合的標(biāo)定方法,此外還需要考慮系統(tǒng)成本。由于有多種集成度和補(bǔ)償技術(shù)可供選擇,設(shè)計工程師可根據(jù)不同的設(shè)計要求選擇適當(dāng)?shù)姆椒ā?br/>

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