位移傳感器（位移探頭）

　　電容式傳感器是典型的位移敏感裝置。它的輸出正比于被測(cè)運(yùn)動(dòng)相對(duì)位移的變化造成的兩極板間電容的變化。用適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)備產(chǎn)生與電容變化相對(duì)應(yīng)的電壓。

　　電容式位移傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)是：（1）安裝簡(jiǎn)單；（2）因?yàn)樗�是非接觸式傳感器，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)附加質(zhì)量或約束，所以對(duì)振動(dòng)系統(tǒng)的工作沒有影響；（3）靈敏度高；（4）因其背景噪聲小，所以位移量程寬；（5）頻率范圍寬，其頻率范圍只取決于所用電路。

　　電容式傳感器通常要來(lái)測(cè)量振動(dòng)系統(tǒng)中導(dǎo)電面的振動(dòng)，將這一面用作電容器的接地極。這時(shí)，電容器的絕緣極板應(yīng)安裝在接近振動(dòng)面的剛性結(jié)構(gòu)上。

　　傳感器的最高工作溫度取決于極板支架和導(dǎo)線的絕緣擊穿電阻。在市場(chǎng)上通常使用氧化鋁制的絕緣套，可以保證在1093℃的高溫下仍具有較好的絕緣性。

　　可變電容式加速度傳感器

　　硅微機(jī)械可變電容技術(shù)是用來(lái)制造測(cè)量低水平的加速度（2~100g）并且可以抵抗高水平?jīng)_擊（5000~20000g）的微型加速度傳感器。

　　通過(guò)使用板橋路可變電容微傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的敏感。每個(gè)電路元件的電容隨所施加的加速度增大而增大，而其他元件的電容則減小。通過(guò)信號(hào)調(diào)節(jié)，加速度傳感器可提供線性化的高電平輸出。

　　微傳感器元件的地震質(zhì)量塊的滿量程位移略高于10微英寸。為了能夠探測(cè)微傳感器中因加速度而產(chǎn)生的很小的電容變化，需要采用高精度支承的電子電路。一種方法就是在微傳感器的兩個(gè)電容元件上應(yīng)用三角波。這就使得在元件上的電流與其電容成比例。檢流器和減法器對(duì)電流進(jìn)行全波整流并輸出二者之差，然后用運(yùn)算放大器將電流差轉(zhuǎn)化為輸出電壓信號(hào)，這樣就可得到與加速度成比例的高電平輸出。

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