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- 壓阻式壓力傳感器基本工作原理及特點
- 來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2014/7/15
1、壓阻式壓力傳感器的工作原理
壓阻式壓力傳感器是由平面應變傳感器發(fā)展起來的一種新型壓力傳感器。它以硅片作為彈性敏感元件,任該膜片上用集成電路擴散工藝制成四個等值導體電阻,組成惠斯登電矯,當膜片受力后、由于半導體的壓阻效應.電阻值發(fā)生變化,使電橋輸出而測得壓力的變化,利用這種方法制成的壓力傳感器叫壓阻式壓力傳感器。
相似于電阻應變式傳感器
其中
金屬電阻應變片的靈敏度系數(shù)主要利用 的應變效應,而半導體應變片主要利用電阻率 的變化,這就是壓阻式壓力傳感器的基本原理,它是利用壓阻效應的結(jié)果。
2、壓阻式壓力傳感器的特點
結(jié)構(gòu)簡單、可微型化。
壓阻式壓力傳感器的優(yōu)點:
可測高頻
靈感度高
精度高
受溫度影響大
壓阻式壓力傳感器的缺點:
量程小
不耐腐蝕
工藝復雜
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