傳感器發(fā)展的另一大特點是向著集成化、智能化方向發(fā)展。集成傳感器的優(yōu)勢是傳統(tǒng)傳感器無法達到的，它不僅僅是一個簡單的傳感器，其將輔助電路中的元件與傳感元件同時集成在一塊芯片上，使之具有校準、補償、自診斷和網(wǎng)絡(luò)通信的功能，它可降低成本、增加產(chǎn)量。而智能化傳感器是一種帶微處理器的傳感器，是微型計算機和傳感器相結(jié)合的成果，它兼有檢測、判斷和信息處理功能，與傳統(tǒng)傳感器相比有很多特點，具有判斷和信息處理功能，可實現(xiàn)多傳感器多參數(shù)測量，有自診斷和自校準功能，測量數(shù)據(jù)可存取，且具有數(shù)據(jù)通信接口，能與微型計算機直接通信。把傳感器、信號調(diào)節(jié)電路、單片機集成在一個芯片上形成超大規(guī)模集成化的高級智能傳感器已經(jīng)成為一個新的發(fā)展趨勢。

　　傳感器是一個接收和響應(yīng)信號的裝置。一個傳感器的靈敏度顯示指傳感器的輸出變化量變化時。傳感器,測量小變化必須有非常高的敏感性。傳感器也會影響他們的措施;例如,一個房間溫度的溫度計插入到一杯熱液體到冷卻液體而隨液體改變的加熱溫度計。傳感器需要設(shè)計一個影響測量的因素;使傳感器能夠改善，同時可能會引入其他的優(yōu)勢。技術(shù)進步使越來越多的傳感器用來作為微傳感器使用MEMS技術(shù)上的應(yīng)用。先進的微機電系統(tǒng)(微電機械系統(tǒng))技術(shù)意味著制造商現(xiàn)在能夠產(chǎn)生非常準確的MEMS傳感器和設(shè)備,但許多不能被直接安裝到最終的應(yīng)用程序,因為他們無法生存的嚴酷的最后組裝上。相反地,傳統(tǒng)的傳感器可以生存在任何裝配過程和任何應(yīng)用程序,但太昂貴了。商業(yè)產(chǎn)品制造商的挑戰(zhàn)是將MEMS價格和形成因素融合,然后包裝成某種能夠經(jīng)受嚴酷的環(huán)境的產(chǎn)品。

　　今天,除了新方式來包裝和集成MEMS器件，大部分工業(yè)創(chuàng)新和商業(yè)機會集中在應(yīng)用程序的現(xiàn)有MEMS器件。MEMS傳感器包括加速度計(ACC)、陀螺儀(GYRO)、磁力計(MAG)、壓力傳感器(PS)和話筒(MIC)。因為低成本，小尺寸，低功耗，高性能，MEMS傳感器近幾年來被集成到便攜設(shè)備內(nèi)。

　　快速的CPU、多任務(wù)處理的操作系統(tǒng)、高靈敏度GPS接收器、3G/4G無線通信芯片組、高分辨率數(shù)字攝像頭、觸摸屏LCD顯示屏和大容量存儲器是智能手機的共同特性。MEMS傳感器的用途不再局限于當(dāng)前的應(yīng)用領(lǐng)域，例如，屏幕旋轉(zhuǎn)、省電、運動檢測、數(shù)字羅盤和3D游戲。目前導(dǎo)航廠商正在開發(fā)更先進的MEMS傳感器應(yīng)用，例如，增強實境(AR)、定位服務(wù)(LBS)、行人航位推算系統(tǒng)(PDR)。

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