整合三軸加速度計與三軸陀螺儀的六軸MEMS器件如雨后春筍般，正快速普及移動設(shè)備市場。諸如意法半導體（ST）、應(yīng)美盛（InvenSense）與博世（BoschSensortec）等公司，皆紛紛邁向多軸設(shè)計趨勢，競相推出六軸MEMS組合傳感器，期待以高集成度、高效能、低成本、小體積等優(yōu)勢擴大MEMS市場商機。

　　研究機構(gòu)YoleDeveloppement預估，2012~2017年，MEMS市場出貨量及營收的年復合成長率將分別達到20%和13%；至2017年時產(chǎn)值將達210億美元。其中，加速度計與陀螺儀等慣性傳感器正加速普及于平板電腦與智能手機中，出貨成長的力道最大，推動各公司營收增長。

　　有鑒于市場需求暢旺，意法半導體正全力提升MEMS產(chǎn)能。特別是各種新款低價平板將陸續(xù)在下半年登場，勢將帶動加速度計、陀螺儀、電子羅盤、壓力傳感器與MEMS麥克風等元件出貨量向上攀升。因此，意法半導體的日產(chǎn)能已從去年9月的一百五十萬顆，擴大三百萬顆，以因應(yīng)市場需求。

　　低價平板需求飆STMEMS日產(chǎn)能翻倍

　　意法半導體營銷經(jīng)理郁正德表示，隨著平板電腦價格越來越低，市場滲透率也急劇竄升。特別是中國大陸、印度等新興市場對于99~250美元之間的平板價位接受度較高，將有利于擴大整體平板電腦市場產(chǎn)值，并帶動MEMS、電源IC和面板等相關(guān)零器件需求。

　　其中，關(guān)乎用戶體驗的MEMS傳感器，受惠平板價格日趨下滑，規(guī)格卻日漸提升，出貨量比起過往已大幅增長。郁正德進一步指出，平板制造商為滿足使用者更多感測體驗，已從過往只導入加速度計與陀螺儀，轉(zhuǎn)變?yōu)閷㈦娮恿_盤、壓力傳感器等器件均列為標準配備，因而助長MEMS傳感器出貨量。

　　值得注意的是，隨著移動設(shè)備采用的MEMS數(shù)量逐漸增加，占位面積與功耗弊病也隨之衍生。因此，可解決上述問題的高度集成的MEMS市場商機已開始浮現(xiàn)。郁正德認為，集成加速度計與陀螺儀的六軸MEMS傳感器，不僅制造成本較低，且符合移　動設(shè)備輕薄設(shè)計的趨勢，將成為今年MEMS公司產(chǎn)品布局的一大重點。

　　為順應(yīng)該趨勢，意法半導體也推出六軸組合傳感器：LSM330。除整合該公司新款三軸加速度計與三軸陀螺儀外，還加入兩個嵌入式有限狀態(tài)機（FiniteStateMachine），透過這兩個可編程電路，能在模組內(nèi)部實現(xiàn)客制化動作識別功能。

　　郁正德補充，可編程狀態(tài)機能讓組合傳感器識別特定的動作或手勢，并啟動相關(guān)程式或應(yīng)用，例如用特定的手勢移動手機，可打增強現(xiàn)實功能，查看附近的物體或地標。在MEMS傳感器內(nèi)整合該功能，有助于移動設(shè)備降低耗電量，并為系統(tǒng)設(shè)計人員帶來更多的設(shè)計自由度和靈活性。

　　此外，集成加速度計、陀螺儀與磁力計等三種器件的九軸MEMS組合傳感器，亦逐漸受到市場重視。郁正德分析，過去九軸MEMS元件囿于整合技術(shù)未臻完備，且磁力計易受電磁干擾，以及成本過高等挑戰(zhàn)，市場發(fā)展并不順遂。然而，現(xiàn)今九軸MEMS傳感器已可微縮至4mm×4mm，有助減少干擾發(fā)生，且價格也因經(jīng)濟規(guī)模成形而降低，市場潛力不容小覷。

　　據(jù)了解，意法半導體全球共有六座工廠正全力生產(chǎn)MEMS器件，目前日產(chǎn)能約為三百萬顆，年底時將擴增為四百萬顆。郁正德強調(diào)，產(chǎn)能的擴張，除了持續(xù)看好MEMS市場未來需求不墜外，也代表著意法半導體可透過以量制價的方式，提供客戶更具價格競爭力的解決方案。

　　根據(jù)研究機構(gòu)IHSiSuppli指出，目前各家MEMS供應(yīng)商都已皆積極擴產(chǎn)中，以因應(yīng)不斷升溫的移動設(shè)備市場需求，但卻同時也造成器件價格快速跌落；現(xiàn)今單一MEMS器件已不到1美元，對于主打低價的移動設(shè)備而言，導入各式各樣的MEMS已非難事，MEMS市場滲透率也因此將持續(xù)擴大。

　　事實上，為提升移動設(shè)備更佳的用戶體驗，多軸MEMS解決方案已成為各家業(yè)者勢在必行的設(shè)計新趨勢。其中，InvenSense正積極透過其六軸MEMS產(chǎn)品：MPU-6050搶攻平板市場，并已獲GoogleNexus7采用，宣告六軸MEMS將正式成為低價平板標配之一。

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