柔性電容式濕度傳感器的設(shè)計和制造。（a） 柔性GA的制造工藝2O3/LM濕度傳感器，包括超聲波，噴涂涂層和激光燒結(jié)。（b） 激光燒結(jié)形成GWLM薄膜的機理示意圖和Ga的傳感機理示意圖2O3/基于 LM 的濕度傳感器。學(xué)分：光電進展（2023 年）。DOI：10.29026/oea.2023.220172

最近對新興柔性濕度傳感器的研究在先進制造方法以及包括人類保健檢測、工廠健康管理和非接觸式人機界面在內(nèi)的創(chuàng)新應(yīng)用方面取得了長足的發(fā)展。電容式濕度傳感器因其可靠的濕度傳感性能、低功耗和簡便的結(jié)構(gòu)設(shè)計而受到廣泛關(guān)注。通常，電容式濕度傳感器的性能與傳感電極之間功能材料的介電常數(shù)密切相關(guān)。

到目前為止，已經(jīng)研究了各種活性材料作為柔性電容式濕度傳感器，例如碳材料，金屬氧化物，金屬硫化物和聚合物。同樣，它們通常具有大的暴露表面積和豐富的活性位點，與水分子相互作用。加語2O3作為一種具有高暴露親水基團的潛在金屬氧化物，已被用作電容式濕度傳感器的活性材料。

獲得Ga的傳統(tǒng)制造技術(shù)2O3基于濕度傳感器主要涉及化學(xué)氣相沉積、熱處理和水熱方法。然而，這些方法通常需要高退火溫度，復(fù)雜的制造程序以及各種材料系統(tǒng)，阻礙了其實際應(yīng)用。

柔性濕度傳感器的表征。具有激光燒結(jié)和（a，e）的GWLM（a-d）的SEM圖像。（f） Ga、In和O分布的EDX圖像。（g） PI薄膜上未燒結(jié)的GWLM顆粒的直徑尺寸分布直方圖。（h） 不同激光通量下激光感應(yīng)導(dǎo)電GWLM路徑的電阻率。（i） 激光通量為9.4 J/cm2時燒結(jié)LM路徑的最小分辨率。（j）-（l） GA原理圖2O3基于/LM的濕度傳感器，具有各種制造參數(shù)（即電極的寬度和長度，紫外激光通量）（頂部）。Ga的循環(huán)測量2O3基于 /LM 的濕度傳感器，通過周期性地將濕度從 30% RH 更改為 95% RH（底部）。學(xué)分：光電進展（2023 年）。DOI： 10.29026/oea.2023.220172

數(shù)字激光直接書寫是一種快速且環(huán)保的制造方法，用于生成功能性微/納米結(jié)構(gòu)或直接創(chuàng)建高精度的敏感納米材料�；�于激光-物質(zhì)相互作用，通過明智地選擇合適的激光加工參數(shù)，已經(jīng)展示了各種創(chuàng)新的柔性傳感器，例如物理、化學(xué)和生理傳感器。

典型的策略通常依賴于電極的激光直接寫入，然后在電極頂部沉積濕敏納米材料，例如碳或金屬硫化物基材料。但是，這會導(dǎo)致多個復(fù)雜的過程。因此，仍然需要一種簡單明了的方法來開發(fā)基于薄膜的濕度傳感器。

（a） 佩戴在對象臉上的商用口罩上的濕度傳感器的照片。（b） 在休息狀態(tài)下通過口腔對受試者進行人體呼吸測試。（c） 傳感器的響應(yīng)和恢復(fù)時間。（d）-（f） 實時監(jiān)測處于靜止?fàn)顟B(tài)的受試者的鼻子呼吸頻率。實時監(jiān)測棕櫚水分，同時（g）飲用熱水和（h）運動。學(xué)分：光電進展（2023 年）。DOI： 10.29026/oea.2023.220172

在這項發(fā)表在《光電進展》上的新作品中，一種可穿戴電容式Ga。2O3/基于液態(tài)金屬的濕度傳感器通過一步激光直接寫入技術(shù)進行演示。由于激光的光熱效應(yīng)，Gaa2O3-包裹的液態(tài)金屬納米顆�？梢赃x擇性燒結(jié)并從絕緣跡線轉(zhuǎn)換為導(dǎo)電跡線，電阻率為0.19 Ω cm，而未處理的區(qū)域則作為響應(yīng)水分變化的主動傳感層。

在95%的相對濕度下，濕度傳感器顯示出高度穩(wěn)定的性能以及快速的響應(yīng)和恢復(fù)時間。利用這些優(yōu)越的性能，Gaa2O3/液態(tài)金屬濕度傳感器能夠監(jiān)測人體呼吸頻率，以及不同生理狀態(tài)下手掌皮膚水分，用于保健監(jiān)測。