基于MNF耦合器的應(yīng)變傳感器工作原理 (a) 應(yīng)變傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。(b), (c) MNF 耦合器在間隙略微變化之前和之后的光學(xué)顯微照片，分別。MNF的直徑約為900nm，彎曲半徑為50μm。(d) 設(shè)備對三種不同音量的節(jié)拍器的響應(yīng)。(e) 在正常情況下（每分鐘 72 次）和運(yùn)動后（每分鐘 85 次）測量實時指尖脈搏波。插圖顯示了傳感器連接到指尖以測試指尖脈搏的照片，比例尺為 1 厘米。圖片來源：Compuscript Ltd

Opto-Electronic Advances的新出版物討論了一種高靈敏度和快速響應(yīng)的光學(xué)應(yīng)變傳感器。

由于應(yīng)變傳感器對機(jī)械變形的響應(yīng)，應(yīng)變傳感器在柔性電子、健康監(jiān)測和軟機(jī)器人等許多應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用。目前，已報道的應(yīng)變傳感器主要集中在運(yùn)動檢測的高拉伸性和大變形下的高靈敏度方面，而微變形下的低靈敏度（≤1%）可能會限制其在微位移檢測和微弱生理信號監(jiān)測中的應(yīng)用。

最近，基于島狀結(jié)構(gòu)、滲流和微裂紋等微結(jié)構(gòu)的各種類型的電應(yīng)變傳感器已被證明可用于生理信號檢測。然而，復(fù)雜的加工工藝和對電磁干擾的高敏感性給它們的實際應(yīng)用帶來了挑戰(zhàn)�；蛘�，與電子傳感器相比，基于光纖的光學(xué)傳感器具有吸引人的優(yōu)勢，包括固有的電氣安全性、抗電磁干擾性和小尺寸。

作為光纖和納米技術(shù)的結(jié)合，微/納米纖維 (MNF) 因其在更新和擴(kuò)展微/納米級光纖和柔性傳感器方面的潛力而引起了越來越多的研究興趣。特別是，基于倏逝耦合 MNF 的光耦合器是一種用于高靈敏度光學(xué)傳感的有前途的結(jié)構(gòu)，因為耦合效率強(qiáng)烈依賴于環(huán)境折射率、耦合長度和兩個相鄰 MNF 之間的間隙。最近，提出了一種高靈敏度和快速響應(yīng)的光學(xué)應(yīng)變傳感器，該傳感器具有兩個嵌入聚二甲基硅氧烷 (PDMS) 薄膜中的瞬逝耦合光學(xué)微/納米纖維 (MNF)。

對于應(yīng)變≤ 0.5%，應(yīng)變傳感器的應(yīng)變系數(shù)高達(dá) 64.5，應(yīng)變分辨率為 0.0012%，對應(yīng)于 1 cm 長器件上的 120 nm 伸長率。作為概念驗證，實現(xiàn)了高靈敏度的指尖脈搏測量。高達(dá) 30 kHz 的快速時間頻率響應(yīng)和 102 kPa-1 的壓力靈敏度使傳感器能夠進(jìn)行聲音檢測。這種多功能傳感器可在生理信號監(jiān)測、語音識別和微位移檢測中發(fā)揮重要作用。

本文作者提出了一種高靈敏度和快速響應(yīng)的光學(xué)應(yīng)變傳感器，如圖 1a 所示。每個 U 形 MNF 的直徑為 0.9 μm，彎曲半徑為 50 μm。由于倏逝場在 MNF 之外呈指數(shù)衰減，耦合效率對兩個 MNF 之間的間隙非常敏感。因此，兩個MNF之間的任何位移都將反映在輸出端口的光強(qiáng)變化上，從而實現(xiàn)高靈敏度的應(yīng)變傳感。

整個結(jié)構(gòu)嵌入適當(dāng)厚度的 PDMS 薄膜中，以確保應(yīng)變以高保真度傳遞到傳感器。PDMS薄膜可以將傳感區(qū)域與空氣隔離，從而避免因灰塵沉積和其他外部環(huán)境變化造成的不可預(yù)測的信號干擾。圖 1b 和 c 表明這種耦合器對間隙寬度很敏感，因為當(dāng)間隙寬度略有變化時，輸出強(qiáng)度會發(fā)生顯著變化。特殊設(shè)計的 MNFs 結(jié)構(gòu)和 PDMS 的靈活性賦予傳感器高靈敏度和良好的延展性。

該傳感器在 0-0.1% 應(yīng)變范圍內(nèi)實現(xiàn)了 64.5 的應(yīng)變系數(shù)，以及高達(dá) 30 kHz 的快速時間頻率響應(yīng)，用于聲音檢測。該傳感器還可以執(zhí)行聲音振動檢測（圖 1d）和人體指尖脈搏的實時監(jiān)測（圖 1e）。此外，該傳感器具有器件結(jié)構(gòu)簡單、對光源和檢測器要求低等特點。此外，利用對波長不敏感的器件響應(yīng)，實驗中使用的鹵鎢燈和光譜儀可以分別替換為具有成本效益的器件，例如 LED 和光電二極管，這有利于可穿戴的弱生理信號傳感系統(tǒng)。

提出的新傳感器將為低成本、靈敏的多功能柔性傳感器開辟一條簡單的途徑，在醫(yī)療健康監(jiān)測、語音識別和微位移檢測方面具有巨大潛力。