科技日報消息，東京工業(yè)大學校長益一哉等人與NTT尖端技術公司利用包含多個金屬層的積層金屬結構，成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度的MEMS（微機電系統(tǒng)）加速度傳感器，與以往相同尺寸的傳感器相比，靈敏度提高百倍以上，噪聲降至十分之一以下。這一創(chuàng)新技術實現(xiàn)其通用化，可用于醫(yī)療保健、基礎設施診斷、移動體控制、機器人(13.820, 0.15, 1.10%)應用等各種運動檢測中，有助開發(fā)新的器件和系統(tǒng)。