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- MEMS壓力傳感器在眾多領域的廣泛應用！
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/5/24
MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形。可以利用應變儀(壓阻型感測)來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)使用比較結實的壓阻方法。
汽車產(chǎn)業(yè)仍然是MEMS壓力傳感器的最大應用領域，占其銷售額的72%，其次是醫(yī)療電子占12%，工業(yè)領域占10%，消費電子與軍用航空占據(jù)其余的6%市場。
在汽車領域，引擎管理是其主要應用，包括汽油發(fā)動機中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器，尤其是在歐洲。為了改善燃燒情況，有些組織也在研究可以在汽缸內(nèi)工作的壓力傳感器，以更好地測量參與化學反應的各種物質的準確比例，并把數(shù)據(jù)反饋給引擎管理系統(tǒng)。
由于工作環(huán)境惡劣，汽車傳感器的價格比消費類傳感器高得多。另外，汽車傳感器需要較長的鑒定時間，而且這些傳感器必須能可靠工作長達15年的時間。有些傳感器，比如剎車或輪胎壓力傳感器，對于汽車安全至關重要。
MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統(tǒng)壓力感測，通常用于自動裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。
在醫(yī)療市場，壓力傳感器主要充當外科手術使用的一次性低成本導管。但它們也用于昂貴的設備之中，在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。這些器件潛力巨大，可能在2015年以后成為可植入傳感器�？芍踩雮鞲衅鞑恍枰姵鼐湍芄ぷ�，可以用于心臟測量和監(jiān)測青光眼。
在工業(yè)領域，MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調(HVAC)、水平面測量、各種工業(yè)過程與控制應用。例如，除了精確的高度氣壓測量，飛機使用傳感器監(jiān)測引擎、襟翼等其它部件。
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