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淺析高溫壓力傳感器
來源:賽斯維傳感器網 發(fā)表于 2012/9/26

  高溫壓力傳感器的工作原理風壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。

  壓力傳感器應用雖然非常廣泛。但是傳統(tǒng)的壓力傳感器的器件主要是一些機械結構型,其原理都是結合壓電效應,把彈性體的形變轉換成對應壓力的大小。

  高溫壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種壓力變送器,其廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風、鍋爐,熔爐等眾多行業(yè)。

  現(xiàn)在,研究比較多的高溫壓力傳感器主要是一些半導體傳感器,還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。相比于傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比,半導體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小等優(yōu)點,而且它有個很大的好處是只對壓力敏感,對應力不敏感,所以,電容式壓力傳感器在許多領域得到廣泛應用。主要參考的參數(shù):

  1.測量范圍:在允許誤差限內被測量值的范圍。

  2.量程:測量范圍上限值和下限值的代數(shù)差。

  3.精確度:被測量的測量結果與真值間的一致程度。

  4.重復性:在所有下述條件下,對同一被測的量進行多次連續(xù)測量所得結果之間的符合程度:

  5.分辨力:傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。

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