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半導(dǎo)體氣體傳感器工作原理及結(jié)構(gòu)特征
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/8/27

  氣體傳感器主要有半導(dǎo)體式、接觸燃燒方式、化學(xué)反應(yīng)式、光干涉式、熱傳導(dǎo)式、紅外線吸收散式等。而這當(dāng)中以半導(dǎo)體氣體傳感器應(yīng)用更為廣泛。

  半導(dǎo)體氣體傳感器由氣敏部分、加熱絲以及防爆網(wǎng)等構(gòu)成,它是在氣敏部分的SnO2、Fe2O2、ZnO2等金屬氧化物中添加Pt、Pd等敏化劑的傳感器。傳感器的選擇性由添加敏化劑的多少進(jìn)行控制,例如,對于ZnO2系列傳感器,若添加Pt,則傳感器對丙烷與異丁烷有較高的靈敏度;若添加Pd,則對CO與H2比較敏感。

  氣體傳感器以陶瓷管為框架,外覆一層敏感膜的材料,利用膜兩端的鍍金引腳進(jìn)行測量。敏感膜的材料最常用的有金屬氧化物、高分子聚合物材料和膠體敏感膜等。它的兩個關(guān)鍵部分是加熱電阻和氣體敏感膜。金電極連接氣敏材料的兩端,使其等效為一個阻值隨外部待測氣體濃度變化的電阻。

  由于金屬氧化物有很高的熱穩(wěn)定性,而且這種傳感器僅在半導(dǎo)體表面層產(chǎn)生可逆氧化還原反應(yīng),半導(dǎo)體內(nèi)部化學(xué)結(jié)構(gòu)不變,因此,長期使用也可獲得較高的穩(wěn)定性。原理簡介如下:金屬氧化物一旦加熱,空氣中的氧就會從金屬氧化物半導(dǎo)體結(jié)晶粒子的施主能級中奪走電子,而在結(jié)晶表面上吸附負(fù)電子,使表面電位增高,從而阻礙導(dǎo)電電子的移動,所以,氣體傳感器在空氣中為恒定的電阻值。

  這時還原性氣體與半導(dǎo)體表面吸附的氧發(fā)生氧化反應(yīng),由于氣體分子的離吸作用使其表面電位高低發(fā)生變化,因此,傳感器的電阻值要發(fā)生變化。對于還原性氣體,電阻值減;對于氧化性氣體,則電阻值增大。這樣,根據(jù)電阻值的變化就能檢測氣體的濃度。

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