加速度計(電容式)MEMS 加速度計(電容式)——即加速度傳感器——即加速度傳感器——微機(jī)械加速度計，（mems 加速度計，電容式mems 加速度計！）歷史實際上，加速度計早就已經(jīng)出現(xiàn)在我們的生活中，1657年，某人就發(fā)明了這個依靠加速度計計量時間的擺鐘。到了二十世紀(jì)，各種原理的加速度計如雨后春筍一般涌現(xiàn)，1928振弦式，1938電阻式，1943壓電式，1960壓阻式，1973壓電式，1979電容式。在前面同學(xué)的精辟分析后/后面將還有一組同學(xué)向大家集中講解壓阻式加速度計，我們主要給大家介紹的是電容式加速度計。

　　原理常見的微加速度計 按敏感原理的不同可以分為壓電式、壓阻式、電容式、諧振式、熱對流式等；按照加工工藝方法又可以分為體硅工藝微加速度計和表面工藝微加速度計；按工作方法又可分為開環(huán)加速度計和閉環(huán)(靜電力平衡式)加速度計兩種關(guān)于電容我們都很熟悉，就是在電容的上下極板上下運動的時候電容會發(fā)生變化，圖b就是極板左右移動的時候電容發(fā)生變化，圖c就是當(dāng)極板中間插有介質(zhì)，介質(zhì)運動時電容也會發(fā)生變化電容式微加速度計的基本原理，就是利用電容來檢測加速度場中檢測質(zhì)量在慣性力作用下的微位移。

　　由于微位移將引起檢測電容的變化，檢測電容信號經(jīng)過前置放大、信號調(diào)理后，以直流電壓方式輸出，從而間接實現(xiàn)對加速度的檢測。電容檢測方式有三種：變介電常數(shù)型、變面積型和變極板間隙型。

　　MEMS加速度計的核心，一部分位于電子電路中，一部分在于機(jī)械結(jié)構(gòu)中。經(jīng)過制造和封裝的加速度計可以用來測量單個平面或兩個/三個正交平面中的加速度。從概念上講，加速度傳感部分通常包含位于懸梁一端的"運動塊"。

　　對處于加速狀態(tài)的多個運動塊和橫梁系統(tǒng)進(jìn)行偏轉(zhuǎn)測量，一般是通過傳感位于一組固定橫梁和一組偏轉(zhuǎn)橫梁之間的電容變化完成的，有點類似于宏觀的可變電容。由于許多容性傳感器具有相對位移非線性的電容特性，因此要用傳感器中的電子將信號轉(zhuǎn)換為線性輸出。除了電容外，也可以使用壓電型傳感元件。

　　在加速度計數(shù)據(jù)手冊中標(biāo)明的一些重要特征參數(shù)包括帶寬和諧振頻率、本底噪聲、交叉軸靈敏度、漂移、線性度、動態(tài)范圍、抗沖擊能力和功耗。一般來說，諧振頻率要比帶寬上限高好幾倍。帶寬和靈敏度通常呈反比關(guān)系。

　　除了電子器件通常都有的噪聲源外，由于MEMS傳感器非常小，由運動塊上的布朗效應(yīng)產(chǎn)生的熱噪聲也是一個顯著的噪聲源。

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