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MEMS在通信移動方面的應(yīng)用
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2018/5/7

在智能手機(jī)中,iPhone 5采用了4個MEMS傳感器,三星Galaxy S4手機(jī)采用了八個MEMS傳感器。

iPhone 6 Plus使用了六軸陀螺儀&加速度計(InvenSense MPU-6700)、三軸電子羅盤(AKM AK8963C)、三軸加速度計(Bosch Sensortec BMA280),磁力計,大氣壓力計(Bosch Sensortec BMP280)、指紋傳感器(Authen Tec的TMDR92)、距離傳感器,環(huán)境光傳感器(來自AMS的TSL2581 )和MEMS麥克風(fēng)。

iphone 6s與之類似,稍微多一些MEMS器件,例如采用了4個MEMS麥克風(fēng)。預(yù)計將來高端智能手機(jī)將采用數(shù)十個MEMS器件以實現(xiàn)多模通信、智能識別、導(dǎo)航/定位等功能。 MEMS硬件也將成為LTE技術(shù)亮點部分,將利用MEMS天線開關(guān)和數(shù)字調(diào)諧電容器實現(xiàn)多頻帶技術(shù)。

以智能手機(jī)為主的移動設(shè)備中,應(yīng)用了大量傳感器以增加其智能性,提高用戶體驗。這些傳感器并非手機(jī)等移動/通信設(shè)備獨有,在本文以及后續(xù)文章其他地方所介紹的加速度、化學(xué)元素、人體感官傳感器等可以了解相關(guān)信息,在此不贅敘。此處主要介紹通信中較為特別的MEMS器件,主要為與射頻相關(guān)MEMS器件。

通信系統(tǒng)中,大量不同頻率的頻帶(例如不同國家,不同公司間使用不同的頻率,2G,3G,LTE,CDMD以及藍(lán)牙,wifi等等不同技術(shù)使用不同的通信頻率)被使用以完成通訊功能,而這些頻帶的使用離不開頻率的產(chǎn)生。

聲表面波器件,作為一種片外(off-chip)器件,與IC集成難度較大。表面聲波(SAW)濾波器曾是手機(jī)天線雙工器的中流砥柱。2005年,安捷倫科技推出基于MEMS體聲波(BAW)諧振器的頻率器件(濾波器),該技術(shù)能夠節(jié)省四分之三的空間。

BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW沒有運(yùn)動部件,主要通過體積膨脹與收縮實現(xiàn)其功能。(另外一個非位移式MEMS典型例子是依靠材料屬性變化的MEMS器件,例如基于相變材料的開關(guān),加入不同電壓可以使材料發(fā)生相變,分別為低阻和高阻狀態(tài),詳見后續(xù)開關(guān)專題)。

在此值得一提的事,安華高Avago(前安捷倫半導(dǎo)體事業(yè)部)賣的如火如荼的薄膜腔聲諧振器(FBAR)。也是前段時間天津大學(xué)在美國被抓的zhang hao研究的東西。得益于AlN氮化鋁壓電材料的沉積技術(shù)的巨大進(jìn)步,AlN FBAR已經(jīng)被運(yùn)用在iphone上作為重要濾波器組件。FBAR和為SMR (Solidly Mounted Resonator)其原理主要通過固體聲波在上下表面反射形成諧振腔。

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